Có 3 tiêu chuẩn phòng sạch từ năm 1963 đến hiện nay là:
1. Tiêu chuẩn phòng sạch Federal Standard 209 (1963)
2. Tiêu chuẩn phòng sạch Federal Standard 209 E (1992)
Tiêu chuẩn này xác định hàm lượng bụi lửng trong không khí theo đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí là m^3). Sự phân loại phòng sạch được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi có đường kính lớn hơn 0,5 \mum. Dưới đây là bảng tiêu chuẩn FS 209 E.
3. Tiêu chuẩn phòng sạch ISO 14644-1
Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization – ISO) đã quy định các tiêu chuẩn về phòng sạch tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành năm 1999 có tên “Phân loại độ sạch không khí”
Phân loại phòng sạch:
| STT | Loại Phòng sạch | Loại Phòng sạch trong tiếng anh | Ứng dụng |
| 1 | Loại | 1 (Cleanroom Class 1) |
|
| 2 | Loại 10 | (Cleanroom Class 10) |
|
| 3 | Loại 100 | (Cleanroom Class 100) |
|
| 4 | Loại 1000 | (Cleanroom Class 1000) |
|
| 5 | Loại 10,000 | (Cleanroom Class 10,000) |
|
| 6 | Loại 100,000 | (Cleanroom Class 100,000) |
|
Lượt xem: 1052
