Phòng sạch bao gồm nhiều trang thiết bị và dụng cụ chuyên dụng. Sau đây là danh sách các thuật ngữ hay tên gọi các thiết bị phòng sạch được quy định theo chuẩn quốc tế.
Một số "Thuật ngữ" dùng trong phòng sạch
Air Lock: Phòng ngăn không khí, chia cách giữa phòng sạch và khu vực bên ngoài và nó có tác dụng là phòng đệm hay phòng trung chuyển khi vận chuyển vật liệu hoặc con người đi vào hay ra khỏi khu vực phòng sạch.
Air Flow Rate: Lưu lượng dòng khí – thể tích dòng khí lưu thông trong phòng sạch trong mỗi đơn vị thời gian.
Air Shower: Phòng tắm khí – phòng “tắm khí” trong đó có bố trí các vòi phun khí nén để làm sạch con người và vật liệu,.. trước khi đi vào phòng sạch.
Clean Room Table: là bàn chuyên dụng được làm từ vật liệu chuyên dụng cho phòng sạch.
Cleanzone: Một không gian được phân định trong đó sự tập trung của các hạt có trong không khí được kiểm soát sao cho ở dưới mức độ cho phép.
Contamination: Sự nhiễm bẩn – các chất nguy hại hoặc chất không mong muốn mà sự có mặt của chúng trong môi trường có thể làm giảm độ tinh khiết của môi trường đó.
Electrostatic Discharge (ESD): Hiện tượng phóng điện, hiện tượng này có thể dễ dàng phá hổng thiết bị bán dẫn.
Equipment Layout – Mặt bằng triển khai thiết bị là bản toám tắt về phòng sạch và các khu vực chức năng khác cần thiết liên kết ăn khớp với nhau về chức năng và phối hợp hoạt động.
Federal Standard 209E – là văn bản tuyên bố tiêu chuẩn độ sạch không khí của phòng sạch.
Filter Module: Là thiết bị có lắp bộ lọc HEPA hoặc ULPA và được lắp trong trần nhà hay trong tường của phòng sạch.
HEPA (High Efficiency Particulate Air) Filter – Bộ lọc bụi trong không khí hiệu năng cao là khả năng lọc không khí với việc giữ lại ít nhất 99,97% các hạt bụi có kích thước nhỏ tới 0,3 micron.
ULPA (Ultra Low Particulate Air) Filter – Bộ lọc bụi cực nhỏ trong không khí là bộ lọc không khí có thể giữ lại 99,9999% các tiểu phân có kích thước nhỏ tới 0,12 micron.
HVAC (Heating, Ventilatinon and Air Conditioning) System – Hệ thống sưởi, thông gió và điều hòa không khí là thiết bị để cung cấp và duy trì việc sưởi ấm, làm mát và điều hòa không khí trong tòa nhà hay cơ sở sản xuất.
Laminar Flow: Tá vụ thổi gió trong khu vực nhất định với tốc độ gió không đổi.
Micobes: Chỉ các vi sinh vật siêu nhỏ kí trên da người.
Particle: Là vật thể, có thể ở dạng rắn hoặc dạng lỏng, có kích thước khoảng 0,001 cho đến 1,000 micron.
Particulate – Hạt là vật thể bao gồm nhiều tiểu phân tách biệt nhau.
Prefilters – Lọc sơ bộ, tiền lọc là bộ lọc bổ sung được dùng để nối tiếp với bộ lọc chính; nó lọc các tiểu phân cỡ lớn và bảo vệ bộ lọc chính không bị nhiễm bẩn quá mức.
Sample Acquisition Time – Thời gian tiếp nhận mẫu mà thiết bị đếm hạt tích lũy dữ liệu đếm trước khi tự động trả về zero và tiếp tục đếm lần nữa.
Sealant – Gioăng, keo bịt kín là chất thường bao gồm chất dẻo hoặc silicone dùng để gắn bó các bộ lọc HEPA vào trong khung trần nhà.
Sticky Mat – Vật liệu dẻo dính là tấm thảm cửa đặt ở lối vào phòng sạch và phòng tắm. Tấm thảm này sử dụng màng phim dính để làm sạch giày dép của nhân viên.
Testing/Certification Services – Dịch vụ Kiểm tra và Chứng nhận là việc kiểm tra và duy trì các thành phần của phòng sạch, bao gồm các bộ lọc HEPA, hệ thống HVAC và các thiết bị khác. Việc kiểm tra bộ lọc HEPA bao gồm các khảo sát và đếm tiểu phân, đo lường về điều hòa không khí, đo độ rung và ổn định dòng không khí.
Turbulent Flow – Dòng chảy rối là dòng không khí trong một không gian nhất định chảy theo cùng một hướng.
Utility Matrix – Bảng khai thác sử dụng thiết bị cũng được gọi là “bảng khai thác quá trình và thiết bị”, “Bảng dụng cụ”, “Bảng các yêu cầu khai thác” trong đó tổng kết các phân tích về việc khai thác sử dụng từng thiết bị để lập kế hoạch xây dựng một phòng sạch.
Unidirectional Airflow Cleanrooms/Laminar airflow cleanrooms – Phòng sạch có dòng khí theo 1 hướng duy nhất/dòng khí phân nhiều lớp là phòng sạch trong đó khí lọc vào trong phòng tới khu vực làm việc theo một hướng duy nhất, giảm thiểu sự hỗn loạn của dòng khí. Phòng sạch có dòng khí theo 1 hướng duy nhất thường dùng bộ lọc HEPA hay ULPA bao phủ 80% hoặc nhiều hơn ở trần nhà (luồng khí dọc) hoặc một bức tường (luồng khí ngang).
Airborne Particulate Cleanliness Class Number: Số cấp độ sạch về số lượng các hạt có trong không khí – thể hiện số lượng các hạt có kích thước cỡ 0,5 micron hoặc lớn hơn có trong một thể tích không khí có trong phòng sạch. Cấp độ càng nhỏ nghĩa là không khí trong phòng càng tinh khiết.
Ceiling Grid System: Hệ thống khung của trần nhà – khung dùng cho việc lắp đặt hệ thống chiếu sáng và lọc không khí cho phòng sạch.
Cleanroom Partition: Các tấm ngăn chia một phòng sạch thành nhiều khu vực khác nhau.
Clean Room Pass Thrus: Phòng đi ngang qua phòng sạch – phòng ngăn không khí những dùng để làm hành lang dành cho sản phẩm và các nguyên liệu vào hoặc ra khỏi khu vực phòng sạch mà không có nhân viên đi vào nhằm giảm thiểu sự xâm nhập của các yếu tố nhiễm bẩn không khí của phòng sạch.
Clean Room Suit: Quần áo dùng cho người làm việc trong phòng sạch.
Liên hệ Công ty LVD để được tư vấn và giải đáp các khái niệm kỹ thuật và các thuật ngữ “phòng sạch” từ các chuyên gia phòng sạch và hệ thống lọc khí hàng đầu Việt Nam.
